一、前言 通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体。 目前已经使用的蚀刻液类型主要有六种类型:酸性氯化 铜、碱性氯化铜、氯化铁、过硫酸铵、硫酸/铬酸、硫酸/双氧水蚀刻液。其中氯化铁蚀刻液的刻蚀速度主 要受刻蚀温度、盐酸含量和铁离子含量的影响。其中蚀刻液中盐酸添加量的影响:在蚀刻液中加入盐酸， 可以抑制FeCl3 水解，并可提高蚀刻速率，尤其是当溶铜量达到 37.4g/L 后，盐酸的作用更明显。但是盐 酸的添加量要适当，酸度太高，会导致液态光致抗蚀剂涂层的破坏。本次实验采用JH-T6全自动电位滴定 仪按照其电位突跃点确定终点，测定其盐酸的含量，验证实验方案的可行性。 二、仪器与试剂 2.1、仪器 JH-T6全自动电位滴定仪，复合 PH 电极，分析天平等 2.2、试剂 3mol/L KF 溶液，0.1mol/L *标准滴定液 三、实验方法 3.1、实验过程： 准确称取 1g 待测试样（精确至 0.0001g）,依次加入 50mL 去离子水，25mL 3mol/L 的 KF 溶液，混合 均匀，用标定好的*滴定液滴定至电位突越终点，同时做空白试验，计算盐酸含量。 3.2、仪器参数 仪器参数，如表 1 所示： 表 1 滴定仪参数设置 滴定类型： | 动态滴定 | 方法名： | 蚀刻液中盐酸测定 | 滴定管体积： | 10mL | 样品计量单位： | g | 工作电极： | 复合 PH 电极 | 参比电极： | 无 | 搅拌速度： | 7 | 预搅拌时间： | 5s |
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